10月21日臺媒報道稱，臺積電位于南科的再生水廠工程發生火災，廠區有大量濃煙伴隨火勢冒出，廠區緊急疏散200多名工人。臺南市消防局調派21輛消防車和37名消防員前去滅火，截止11點19分，火勢已得到控制，沒有人員傷亡。

根據消防人員初步調查顯示，燃燒物為堆積在現場的泡棉，而火災起因疑似電焊火星不慎掉落到泡棉上引起的。臺積電工廠失火的消息一經傳出，隨即引發了半導體業內的高度關注，不過隨后就有報道指出，此次發生火災的地方并非臺積電生產廠區。

據了解，此次火災發生在臺積電旁的再生水廠，而這座水廠于去年開始建設，計劃今年年底完工，屆時將為臺積電供應再生水資源。目前這座再生水廠工程并不屬于臺積電所有，現階段由中鼎興建，未來完工啟用后才會移交給臺積電。

制造半導體需要大量的水，水資源管理對半導體行業至關重要，目前臺積電所使用的水源中，85%-90%都是再生水。該工程完工將會給臺積電每月增加2萬噸的再生水資源。南科管理局副局長也對此事作出表示，該工程已接近完工階段，此次火災不會影響完工時間，也不會影響月底供應再生水的計劃。